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淨化廠房工業管道一般規定

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淨化廠房工業管道一般規定

8工業管道

8.1一般規定

8.1.1··╃、8.1.2本次修訂的理由是▩••:

    (1)由於現有潔淨廠房內₪↟│,除給排水管道外的工業管道還包括各類氣體輸送··╃、液體輸送和真空管道等₪↟│,所以將本章擴大更名為工業管道✘◕。據瞭解₪↟│,目前潔淨廠房內的工業管道幹管··╃、支幹管均基本敷設在上··╃、下技術夾層··╃、技術夾道或特殊的管廊內₪↟│,這種方式既可滿足潔淨室(區)生產工藝的需要₪↟│,符合潔淨室(區)佈置和潔淨··╃、美觀的要求₪↟│,又有利於各類管道的安裝··╃、維護✘◕。

    (2)據調查瞭解₪↟│,目前在潔淨室(區)內的易燃··╃、易爆··╃、有毒物質的輸送管道大多采取明敷的方式₪↟│,即包括這類物質輸送管道的幹管··╃、支幹管和接至產品生產裝置的支管均採取明敷的方式₪↟│,以便容易發現這類物質在輸送過程中可能發生的洩漏₪↟│,有利於即時採取搶救措施✘◕。但是由於各種原因₪↟│,並不是所有的潔淨室都採用明敷₪↟│,也有的工程在採取必要的安全保護措施後₪↟│,將這類物質的輸送幹管··╃、支幹管敷設在技術夾層或技術夾道內₪↟│,此時在技術夾層··╃、技術夾道內應設定可靠的氣體洩漏報警和機械排風措施₪↟│,一旦此類管道發生易燃··╃、易爆··╃、有毒物質洩漏至技術夾層··╃、技術夾道後₪↟│,當超過規定的濃度限值時₪↟│,氣體報警裝置發出聲光訊號₪↟│,並自動連鎖開啟事故排風機₪↟│,避免事故的發生₪↟│,為此作了第3··╃、4款的規定₪↟│,第4款為強制性條文✘◕。

   (3)原規範規定的管道及管架宜設裝飾面板₪↟│,由於裝飾面板式樣不明確₪↟│,在實施中形式多樣₪↟│,且不統一₪↟│,有的採用裝飾不鏽鋼套管₪↟│,易於清潔··╃、整齊光滑₪↟│,有的僅為象徵性措施₪↟│,不能達到潔淨··╃、美觀的目的₪↟│,甚至不易清潔··╃、維護₪↟│,為此本次修訂取消了此規定✘◕。

8.1.3工業管道的管徑通常應按輸送物質的物化性質和具體工程中所輸送物質的流量₪↟│,溫度··╃、壓力和流速確定✘◕。其中流量₪↟│,壓力··╃、溫度是依據產品生產工藝確定₪↟│,但管內物料流速應按其物化性質··╃、狀態合理確定✘◕。

     各種物料在輸送過程中應儘量減少汙染₪↟│,使停止使用時的物料殘留儘量少₪↟│,並使管道系統易於吹除₪↟│,因此各類工業管道系統應儘量短₪↟│,避免盲管等不易吹除的死角✘◕。

     由於各類工業管道在投人使用前或檢修前··╃、後均應進行吹除··╃、排放達到預期潔淨度或純度要求₪↟│,為此各工業管道系統應設必需的吹除口··╃、放淨口₪↟│,以確保各系統的安全··╃、穩定執行✘◕。為進行物料的化驗··╃、分析或吹除效果的取樣₪↟│,相應的管道系統還應設定取樣口✘◕。

     鑑於各類工業管道輸送的物料品種較多··╃、純度不同₪↟│,不能做統一的強制性規定₪↟│,為此將本條改為推薦性條文✘◕。

8.1.4本條規定工業管道穿過潔淨室牆壁或樓板處的管段不應有焊縫₪↟│,是便於檢查焊縫的焊接質量✘◕。為保持潔淨室的空氣潔淨度和室內正壓規定₪↟│,管道與牆壁或樓板之間應採取可靠的密封措施₪↟│,密封材料常用矽橡膠等填堵✘◕。

8.1.5可燃氣體(包括城鎮燃氣··╃、天然氣··╃、氫氣等)和氧氣管道系統發生事故或氣體純度不符合要求時₪↟│,需吹除置換₪↟│,這些氣體吹除置換時不能排入室內₪↟│,所以在管道末端或最高點應設放散管₪↟│,以便將氣體排入大氣✘◕。放散管的排放口應高出屋脊1m₪↟│,以防止由於風向的影響使排放的氣體倒灌回室內✘◕。本條涉及可燃氣體等管道系統的執行安全₪↟│,為此作為強制性條文規定✘◕。

8.1.6對氣體純度要求嚴格的生產工藝₪↟│,如電子工業中電真空器件··╃、半導體器件··╃、特種半導體器件··╃、積體電路等生產工藝₪↟│,從材料製備到器件製造··╃、封裝··╃、效能測試等工藝過程中各種高純氣中的雜質含量將直接影響產品的合格率₪↟│,如氫氣用於矽外延時₪↟│,在高溫下氫中的微量氧和水汽易與矽作用生成二氧化矽而影響完整結晶生長₪↟│,致使外延片的堆垛層錯密度高₪↟│,甚至變成多晶✘◕。

     氨氣在擴散過程中作為運載氣時₪↟│,如果含有氧和水汽易使₪↟│,比裝置的設定應根據純度的要求₪↟│,選擇相應的氣體淨化裝置✘◕。

    為保證使用點氣體純度符合要求₪↟│,規定氣體終端淨化裝置宜設在鄰近用氣點處以縮短高純氣體管道的長度₪↟│,避免汙染₪↟│,氣體終端淨化裝置應該是距離用氣點越近越好₪↟│,但往往受各種條件限制··╃、難以實現₪↟│,為此條文規定採用✘◕。

81.7在各種生產工藝過程中不僅對各種氣體純度要求十分嚴格₪↟│,而且對氣體中含塵量也有相應嚴格的要求₪↟│,有關專家指出₪↟│,高純氣體中含塵量比其純度在一定意義上顯得更為重要₪↟│,因此規定了根據不同的生產工藝要求設定相應精度的氣體終端過濾器₪↟│,並規定應設在靠近用氣點✘◕。

     在潔淨廠房內一般設定預過濾器和高精度終端氣體過濾器預過濾器是設在潔淨廠房氣體人口室的幹管上₪↟│,作為預過濾₪↟│,以減輕終端過濾器的負擔₪↟│,並延長其使用壽命✘◕。

     預過濾器的濾材通常採用多孔陶瓷管··╃、多孔鋼玉管··╃、微孔玻璃製品··╃、微孔泡沫塑膠··╃、粉末冶金管··╃、聚丙腈纖維等✘◕。

     高精度終端氣體過濾器是設在靠近用氣裝置的支管上✘◕。其濾材採用超細玻璃棉高效濾紙··╃、醋酸纖維素濾膜··╃、粉末金屬材料等✘◕。

8.1.8進入潔淨廠房的氣體··╃、液體管道種類根據生產工藝的不同 確定₪↟│,一般各種管道上均設有總控制閥門₪↟│,壓力錶··╃、流量計··╃、過濾器··╃、調壓裝置··╃、線上分析儀等₪↟│,為安全可靠執行和方便管理₪↟│,應將這些控制裝置··╃、附件集中設定在氣體··╃、液體入口室或分配室內✘◕。對於甲··╃、乙類火災危險生產用氣體··╃、液體入口室或分配室內₪↟│,可能有可燃氣體··╃、液體管道如氫氣··╃、燃氣等時₪↟│,在與潔淨廠房毗連佈置時₪↟│,應按本條第1款的規定實施₪↟│,據調查₪↟│,現有的這類潔淨廠房大多均按此類要求進行佈置₪↟│,設在潔淨廠房邊跨靠外牆的房間內₪↟│,並應以耐火極限大於3.0h的隔牆與相鄰房間分隔;還應設定好的通風措施₪↟│,及時排除可能洩漏的可燃氣體等₪↟│,並應按現行國家標準(建築設計防火規範》GB50016的規定₪↟│,設定必要的洩壓面

織₪↟│,電氣防爆應按現行國家標準《爆炸和火災危險環境電力裝置設D50058的規定進行爆炸危險環境的設防✘◕。本條規定涉及潔淨廠房的安全穩定執行₪↟│,所以規定為強制性條文✘◕。



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